Vakuumventil

Vacuum valve

Soupape à vide

Abstract

Vakuumventil (1) mit einem Schraubelement (9a; 9b) zur mechanisch koppelnden Verbindung eines ersten Bauteils (10) des Vakuumventils (1) mit einem zweiten Bauteil (11). Das Schraubelement (9a; 9b) hat einen Kraftübertragungs-Oberflächenabschnitt (18) zwischen einem Gewinde-Oberflächenabschnitt (12) mit einem ersten Gewinde (14a; 14b) und einem in einem ersten Gasbereich (5) angeordneten Eingriffs-Oberflächenabschnitt (15) für ein Werkzeug (17). Das erste Bauteil (10) und das zweite Bauteil (11) sind durch einen durch ein Durchgangsloch (20) des ersten Bauteils (11) erfolgenden Gewindeeingriff zwischen dem ersten Gewinde (14a; 14b) und einem dem zweiten Bauteil (11) zugeordneten zweiten Gewinde (21a; 21b) formschlüssig mechanisch koppelbar. Das Schraubelement (9a; 9b) hat einen Dichtungs-Oberflächenabschnitt (24) zwischen dem Gewinde-Oberflächenabschnitt (12) und dem Eingriffs-Oberflächenabschnitt (15). Zwischen dem Dichtungs-Oberflächenabschnitt (24) und einer Dichtungsfläche (25) des ersten Bauteils (10) ist ein dichtendes Dichtungselement (26a; 26b) derart angeordnet, dass der erste Gasbereich (5) von einem dritten Gasbereich (27), in dem der Gewinde-Oberflächenabschnitt (12) angeordnet ist, gas- oder partikeldichtend getrennt ist.

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Patent Citations (12)

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