System zum Kühlen einer Probe in einer Vorrichtung zum Bearbeiten der Probe

Abstract

Zur gekühlten Bearbeitung einer Probe weist ein System zum Kühlen der Probe eine Halteeinrichtung (22) zur Aufnahme der Probe in einem Probenhalter (20) sowie eine Kühlkammer (12) auf, die die Position (P) der an der Halteeinrichtung montierten Probe umgibt. Die Halteeinrichtung (22) ist mittels eines fluiden Kühlmittels auf eine einstellbare Temperatur kühlbar und sorgt für eine Kühlung der Probe. Hierzu strömt ein Kühlmittel, z. B. flüssiger Stickstoff, durch einen Kühlmittelkanal (24) der Halteeinrichtung (22), der eingangsseitig (31) mit dem Kühlmittel gespeist wird und ausgangsseitig (41) in die Kühlkammer (12) mündet, die auf diese Weise mit Kühlmittel-Gas gefüllt wird. Zudem ist die Halteeinrichtung (22) auf einem Schwenkarm (21) zum Verschwenken der Probe angeordnet. Die Kühlkammer (12) samt Schwenkarm bildet ein Anbaugerät, das lösbar über eine Anschlussschnittstelle (17) montiert werden kann, wobei die Werkzeugaufnahme (16) zur Bearbeitung der Probe durch ein Fenster (47) in der Anschlussschnittstelle (17) in die Kühlkammer (12) hineinragt.

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